ITO旋转靶/平面靶

ITO旋转靶/平面靶


产品介绍

ITO靶材是铟锡氧化物功能陶瓷材料,主要用于磁控溅射制备ITO透明导电薄膜。采用最先进的常压烧结工艺,多个靶管/靶块拼接贴合为ITO靶材成品。


应用领域

导电玻璃

OLED

触摸屏

太阳能电池


参数规格

组份(wt%)In2O3:SnO2=90:10
纯度(%)≥99.99
密度(g/cm³)≥7.13
相对密度(%)≥99.5
电阻率(Ω·cm)≤1.2*10-4
靶材尺寸

旋转靶每节 300-600(mm)

平面靶单片 400*400(mm2

可按图纸要求加工


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